高分辨率台式扫描电镜和透射电镜操作上的差异
这两种电子显微镜系统在操作方式上也有所不同。扫描电镜通常使用15kV以上的加速电压,双束扫描电镜测试机构,而透射电镜可以将其设置在60-300kV的范围内。
与扫描电镜相比,透射电镜提供的放大倍数也相当高:透射电镜可以将样品放大5000万倍以上,而对于扫描电镜来说,限制在1-2百万倍之间。
然而,扫描电镜可以实现的视场(FOV)远大于透射电镜,用户可以只对样品的一小部分进行成像。同样,扫描电镜系统的景深也远高于透射电镜系统。
扫描电子显微镜的应用扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,双束扫描电镜测试中心,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,茂名双束扫描电镜测试,晶体、晶粒取向测量。
其工作原理为:在高真空的镜筒中,由电子产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等),由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。
扫描电镜的特点
1.束流稳定,双束扫描电镜测试费用,可与电子探针媲
扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内,由气动控制其进出,用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统,以便对电子束流进行控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h,已达到电子探针的水平。此外,束流稳定,非常有利于能谱分析,特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。
2.扫描电镜:-----五种观察模式的电子光学系统
扫描电镜采用***的电子光学系统,在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内地位。扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可提供五种观察模式:分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式,鱼眼模式。
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