扫描电子显微镜的基本结构:
扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子,此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。
扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外,还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前,要对样品作相应的处理。
扫描电镜广泛应用于许多学科领域扫描电镜广泛应用于许多学科领域
台式扫描电镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,张家口三维重构,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,三维重构中心,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
扫描电镜具有高分辨率,景深大,立体感强,放大倍数可调等优点,因此广泛用于半导体,三维重构费用,无机非金属材料和器件的检测。除了时间和费用外,它还对电子显微镜的操作者产生了束缚,是研究微观世界的重要工具之一。它为人们提供了研究纳米尺度物质结构的有力手段,已广泛应用于许多学科领域,例如材料科学和质量过程控制
高分辨率台式扫描电镜易于掌握
高分辨率台式扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,三维重构机构,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率,是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
高分辨率台式扫描电镜具备与大型扫描电镜同等的分辨率。该设备实现了大电镜的小型化处理,放大倍率高达10万倍;装载易于使用的可变光阑,可达到5nm图像分辨率,是高分辨率台式扫描电镜中分辨率高的设备;作为一款5轴载台,能同时运用鼠标控制与快捷键移动样品进行分析;可通过多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果,广泛应用于材料科学、生命科学、教育、鉴定、工业、电子、环境、能源等领域。
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