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天津市9d实验室(多图)-天津金属样品电镜测试

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高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统,是一种大型精密仪器,它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵用来在真空柱内产生真空,有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求,需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中,真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。

 之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束,天津金属样品电镜测试,所以在用热发射电子的SEM上,电磁透镜*。

 扫描电子显微镜的原理介绍:   扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面,从而获得样品信息的电子显微镜。因此其使用电子束为照明源,电子束在样品表面扫描,利用电子还有物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要根据分辨率还有有效放大倍数。分辨率也就是可以分辨的小距离。扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜与光学显微镜之间的一种观察手段。它是运用聚焦十分窄的高能电子束来扫描样品,通过光束合物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大还有再成像为了达到对物质微观形貌表征的目的。

扫描电子显微镜的显示优势

扫描式电镜的电子和聚光镜与透射式电镜的大致相同,但是为了使电子束更细,在聚光镜下又增加了物镜和消像散器;在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。

 由于扫描电子显微镜可用多种物理信号对样品进行综合分析,并具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点,当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时,扫描电子显微镜在其微观结构分析研究方面同样显示出极大的优势。主要表现为:

 ⑴力学加载下的微观动态(裂纹扩展)研究;

 ⑵加热条件下的晶体合成、气化、聚合反应等研究;

 ⑶晶体生长机理、生长台阶、缺陷与位错的研究;

 ⑷成分的非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究;

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