全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象,这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以可以用于纳米级样品的三维成像,工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离,如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深,如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象,但后者不如前者,所 以通常使用次级电子。
由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层,所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪,前者速度快但精度不高,三维重构费用,后者非常,可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构,了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜,从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作
扫描电子显微镜的结构:扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,电子束系统还有成像系统。
1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。
2.电子束系统,电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。
3.成像系统,三维重构机构,电子通过一系列电磁透镜成束之后,打到样品上和样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。
台式扫描电镜具有良好电磁屏蔽功能
台式扫描电镜是全数字化控制,级电子显微成像分析仪器,配置有三级电磁透镜,大变焦范围,长工作距离,多孔径光阑,轻松获得材料表面媲美大型扫描电镜的高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图;拓展简单易用,台式电镜X射线能谱仪,能快速获得微米亚微米范围微小区域化学元素定性定量结果;在工作条件固定模式下,台式扫描电镜也是一款率的成像检测设备。
台式扫描电镜全数字控制,级电子显微成像仪器,标配SE探测器,选配BSE探测器,可选样品仓低真空环境功能,直接测试非导电样品,XYZ三轴大行程自动样品台,可选自动控制,多重弹簧橡胶隔振减振系统,深圳三维重构,主机设计紧凑,系统高度集成,良好散热及电磁兼容性能,轻质合金外壳,数字加工成型,具有良好电磁屏蔽功能。
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