台式扫描电镜具有良好电磁屏蔽功能
台式扫描电镜是全数字化控制,级电子显微成像分析仪器,配置有三级电磁透镜,大变焦范围,长工作距离,多孔径光阑,轻松获得材料表面媲美大型扫描电镜的高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图;拓展简单易用,台式电镜X射线能谱仪,能快速获得微米亚微米范围微小区域化学元素定性定量结果;在工作条件固定模式下,台式扫描电镜也是一款率的成像检测设备。
台式扫描电镜全数字控制,级电子显微成像仪器,标配SE探测器,选配BSE探测器,可选样品仓低真空环境功能,直接测试非导电样品,XYZ三轴大行程自动样品台,天津电镜分析机构,可选自动控制,多重弹簧橡胶隔振减振系统,天津电镜分析费用,主机设计紧凑,系统高度集成,良好散热及电磁兼容性能,轻质合金外壳,数字加工成型,具有良好电磁屏蔽功能。
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全自动扫描电镜由电子和电磁透镜两部分组成,天津电镜分析,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像,热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射上,电磁透镜*。
全自动扫描电镜通常会装配两组:汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,装配在真空柱中,位于电子之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,天津电镜分析中心,与成像会焦无关 。物镜:物镜为真空柱中下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。
电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子以及X射线等一系列信号,所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要 的信息,虽然X射线信号不能用于成像,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成像系统中。与普通光学显微镜不同,在全自动扫描电镜中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的,如果需要更高的放大率,只需 要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。
全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象,这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以可以用于纳米级样品的三维成像,工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离,如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深,如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象,但后者不如前者,所 以通常使用次级电子。
由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层,所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪,前者速度快但精度不高,后者非常,可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构,了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜,从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作
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