全自动扫描电镜对样品的要求
1、样品要尽可能干燥,含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干除去;若样品中含有水份,水分挥发会造成仓内真空度急剧下降,导致图像漂移,有白色条纹,甚至会影响灯丝寿命;
2、热稳定性好,热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解,释放气体和其他物质,污染电镜;
3、导电性好,导电性差的样品会发生荷电效应,造成图像畸变,亮点亮线,天津金属样品电镜分析,像散等;
4、不含强磁性,强磁性的样品观察一般会出现严重的像散,无法消去,磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上,损害电镜;
5、试样(表面)导电的固体,试样可以是块状或粉未状。不导电的试样,要***行镀膜处理,在材料表面形成一层导电膜;
台式扫描电镜的性能与基本结构
台式扫描电镜的特点:
制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,能够直接放入样品室进行分析,对于导电性差或者绝缘的样品那么就需要喷镀导电层。
台式扫描电镜的基本结构:
从结构上来看,台式扫描电镜主要是由七大系统组合而成的,也就是电子光学系统、信号探测处理与显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统以及电源供给系统。
此中重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理还有显示系统以及真空系统
全自动扫描电镜是工业发展的***科技
全自动扫描电镜由电子和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像,热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射上,电磁透镜*。
全自动扫描电镜通常会装配两组:汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,装配在真空柱中,位于电子之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成像会焦无关 。物镜:物镜为真空柱中下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。
电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子以及X射线等一系列信号,所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要 的信息,虽然X射线信号不能用于成像,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成像系统中。与普通光学显微镜不同,在全自动扫描电镜中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的,如果需要更高的放大率,只需 要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。
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