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湖南顶立科技有限公司
主营：工业炉,3D打印粉末,环保装备
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产品描述：立式化学气相沉积炉（SiC、BN）可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等应用范围：外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等
立式化学气相沉积炉（SiC、BN）技术特征采用***的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高*尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易*易*气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
立式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
温馨提示：以上是关于立式化学气相沉积炉（SiC、BN）的详细介绍，产品由湖南顶立科技有限公司为您提供，如果您对湖南顶立科技有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ，您也可以查看更多与行业专用设备相关的产品！
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第6年
