目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术,但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值,响应时间比较长,又缺乏灵活的控制算法,所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正,在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力,因而具有理想的隔振效果,正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。
光学平台广泛运用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,精密光学平板定制,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。 随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,光学面包板厂家定制,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。
光电仪器中的保护玻璃和分划板、制造集成电路的基片、平面显示器玻璃,精密光学平板,都是属于一般精度要求的平板类平面光学零件,由于这类零件的需求量日益增大,使这类零件的双面加工技术逐渐发展成熟。
双面加工技术指同时对平板类光学零件的两个平面同步进行加工的技术。显然,光学平板,这种两面同步加工的技术,比每个面分别单次加工的效率要高得多,但相应的设备要求和控制要求也要高得多。
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