隔振光学平台武汉聚光有各种不同长度和宽度的尺寸。这些隔振光学平台采用全钢结构, 具有很好的热稳定性,光学面包板定制, 以及每个尺寸的宽带阻尼都经过了优化。5 mm厚的不锈钢顶板和底板经过哑光处理,顶板经过精密加工,在任意1平方米内的表面平整度为±0.1 mm。这些平台具有密封的1/4英寸-20(M6)安装孔,孔的中心间距为1英寸(25 mm),边缘小孔距平台边缘0.5英寸(12.5 mm)。
光电仪器中的保护玻璃和分划板、制造集成电路的基片、平面显示器玻璃,都是属于一般精度要求的平板类平面光学零件,由于这类零件的需求量日益增大,使这类零件的双面加工技术逐渐发展成熟。
双面加工技术指同时对平板类光学零件的两个平面同步进行加工的技术。显然,这种两面同步加工的技术,光学面包板,比每个面分别单次加工的效率要高得多,但相应的设备要求和控制要求也要高得多。
目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术,但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值,光学平板,响应时间比较长,又缺乏灵活的控制算法,所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正,在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力,因而具有理想的隔振效果,正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。
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