真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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真空泵使用注意事项:1)、在蒸馏系统和真空泵之间,必须装有吸收装置; 2)、蒸馏前必须用水泵抽去系统中的蒸气;3)、如能用水泵抽气的,则尽量用水泵,真空泵,如蒸馏物质中含有挥发性物质,可先用水泵减压抽降,然后改用油泵;4)、减压系统必须保持密不漏气,所有的橡皮塞的大小和孔道要合适,橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
真空泵开泵
(1)启动前的准备
a、清扫泵体及周围的卫生。
b、检查泵的出入口管线,阀门、法兰、压力表接头是否符合要求,供水
管是否畅通,地脚螺丝及其他部件有无松动。
c、通过供水管路向真空泵供水冲洗,用手盘动转子,然后通过放水管路
把污水排净,对试运或投用过正式运行的机组,停车2天以上的重新
启动时要盘车冲洗。
d、检查连轴器护罩是否上好。
e、电机拆线检修后检查电机转向是否符合真空泵的转向。
(2)启动
a、先缓慢略开出口阀。
b、开启供水阀向泵水,水环真空泵价格,当自动排水阀有液体流出时,关闭水阀。
c、打开真空泵进口阀。
c、当自动排水阀没有水流出时,启动电机,同时打开供水阀,调节供水阀使真空压力表在(0~-0.003Mpa)之间。
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