无机类异物清洗主要用水冲洗,但是水往往是以不同压力及形式冲洗在玻璃基板的表面。① HPMJ—High Pressure Micro Jet,硅片清洗, 高压微粒喷射清洗技术,通过对水增压,在喷嘴处以高压水微粒形式,喷射在玻璃基板表面,达到去除表面大颗粒异物的目的。有些制程特性的需求,也可以和二氧化碳一起混合加入,形成二氧化碳水,即碳酸,让水可以导电,达到可以去除静电的目的。② AAJET—Aqua Air Jet,水气二流体清洗技术。这种技术是把水和空气在一定的压力下,按照一定的比例从喷嘴中喷出。其中喷嘴的形式,有单个喷出扇形模式,也要直接采用Slit Nozzle模式,即喷出为水幕。第二种喷出形式在玻璃基板表面形成的压力较为均匀,不会对产品产生不良。③Roller Brush- 旋转毛刷清洗技术,利用高速旋转的毛刷并增加适当的压入量,硅片酸洗台,达到清洁玻璃表面异物的目的。
清洗设备应用行业
1. 石油化学工业:设备和管道的清洗、除垢、除焦、清除高分子聚合物和生产工艺中沉积的缩合物等。
2. 精密电子工业:光学仪器、精密机械及机器人以及零部件的洗净.
3. 电力工业:高压输变站设施及配电柜和变压器等清洗。
5. 机械工业:金属设备的酸洗、除锈、钝化、去油和镀膜以及精加工前的金属表面处理。
6. 冶金工业:各种冶炼炉冷却系统高硅垢的清洗、以及液压、润滑系统的清洗。
7. 热能动力工业:、热电厂、工业锅炉的清洗除垢和水质处理。
8. 交通运输业:船舶、内燃机车、汽车等的清洗。
9. 建筑工业:建筑物墙面、上下水管道、采暖及通风设备和各种中央空调设备的清洗。
10.宝石加工、钟表工业、光学机械等精密工业:计量仪表、钟表线、手饰、带扣打字盘、凹型部件、环、齿轮、发条、轴承、宝石、透镜、眼镜架、贵重金属装饰品、照相机、快门、零件、钻研模具
11.汽车工业:阀、点火栓、气化栓、制动泵、燃料泵、蓄电池、电极板、活塞环、机器操纵盘、部件、内部装配的部件、摩托车用油箱
12.橡胶工业:手套、带子、白轮胎、橡胶制品、橡胶成型金属模
13.金融ji关:图章、受理号码牌子、瓷器、银制品
清洗作为一种人们日常生活中的基本活动,大家已经习以为常,普遍到没有人重视.我国在20世纪80年代以前,硅片腐蚀设备,还没有出现清洗行业的概念. 但是,近年来,盐城硅片,随着经济的快速发展和人们生活水平的提高.清洗也越来越引起人们的关注.一方面,90年代以后,随着经济发展和社会进步,清洗活动范围逐步扩大,出现了大批的清洗公司.特别是近几年.
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