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广东省科学院半导体研究所
主营：深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻
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微纳加工外协——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，微流控微纳加工外协，以及行业应用技术开发。
MEMS加工的加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速度计目前有两种：一种是角加速度传感器，生物芯片微纳加工外协，也叫陀螺仪；另一种是线加速度计。
加速度传感器的原理随着其应用不同而出现不同类型的加速度传感器，其分类有压阻式，电容式，压电式，谐振式，伺服式等。
压阻式是较早的微型化和商业化的一类加速度传感器。其加工工艺比较简单，主要采用注入、推进、氧化的工艺来制作压敏电阻；采用KOH腐蚀来制作质量块并使用AES来释放梁和质量快，后采用键合工艺来得到所需的“三明治”结构。
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微纳加工中EMI溅射镀膜的特点
微纳加工中的EMI：是电磁波会与电子元件作用，产生干扰现象。它有以下几个特点：
A、如果国内拥有自主知识产权的话，价格相比较更低。
B、更加环保，真空溅射属于环保制程，可以做到无污染。
C、虽然真空溅射加工的金属薄膜厚度只有0.5～2μm，但不会影响装配。
D、在材料选择上没有限制，在常见的常温固态导电金属及有机材料、绝缘材料皆可使用。
E、EMI膜质致密均匀、膜厚容易控制。
F、被溅射基材几制。
G、它的附著力强（可用ASTM3599的方法测试4B）。
H、可同时搭配多种不同溅射材料之多层膜，且可随客户变换镀层次序。
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微纳制造在航天的应用
纳米技术就现代现代***科学的产业，在很多行业都有着广泛的应用，比如在航天器功能材料商中就要应用到微纳制造。纳米材料本身结构独i特，这也让它自身有了量i子尺寸效应，宏观量i子隧道效应和界面效应，是雷达以及红外隐身的应用材料。与此同时，纳米材料由于具有优良的导电性能，在航天行业应用中可以实现导电，导磁，导热隔热等功能。
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第3年
