其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
6. 有专人负责管理, 验收核实, 登记发放做到有帐可查。7. 不管是仓库还是使用场所,氦气的用途, 空瓶与实瓶都应分开放置,氦气哪里有, 并有明显标志。毒性气体气瓶和瓶内气体相互接触能引起燃烧、, 产生毒物的气瓶应分室存放, 并在附近设置防毒用具、灭火器材。8. 放置气瓶时应配戴好瓶帽。立放时要妥善固定, 防止倒瓶碰坏瓶阀。9. 气瓶露天使用时应加以防护, 防止生锈和侵蚀, 库存瓶要定期检查, 色标、合格证、泄漏等如不清楚、有疑问,氦气厂商, 应及时和厂家联系, 分析确认后才可使用。标准气体潜在的危险分析
1、标识不清或没有警示标识
1)标准气体的气瓶应该和纯气一样贴警示标签。关于标准气体可燃性或氧化性的计算目前国内尚无标准遵循。ISO 10156为如何计算标准气体的可燃性和氧化性提供了可以遵循的方法。
2)标准气体应和纯气一样有成分和浓度标签。
3)不应留有和气体或浓度不符的标签,残留的上次充装的标签要清理干净。
2、标准气体的阀门出口螺纹应遵循的规则
标准气体的阀门出口螺纹应遵循:可燃标准气体-左旋,不燃标准气体-右旋;目前市场上大多数生产厂提供的标准气体阀门出口螺纹没有什么区别,氦气,全部采用右旋;标准气体应和纯气一样,可燃标准气体使用出口螺纹右旋的阀门,防止在生产过程中和客户使用时错接;
3、气体接近爆i炸限或充装过程中经过爆i炸区间,没有浓度和压力限制作为标准气体生产厂家,不仅仅提供给客户的产品浓度在可燃(爆i炸)下限以下,而且在充装过程中也要确保操作人员的安全,对于在充装过程中经过爆i炸区间的标准气体,应经过严格计算控制充装压力和进样顺序,制定严格的操作程序,操作者应该接受培训,培训合格后才可充装此类气体。
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