3.游离二氧化硅:通常它存在于晶体表面,大都由于电阻炉冷却过程中碳化硅的氧化而形成的。越是高温急冷,碳化硅晶体表面的二氧化硅也就越多。
4.铁、铝、钙、镁等元素由于炉内的高温以及还原性气氛、含在结晶块中的这些杂志大都是呈现合金状态或碳化物状态。这些杂质都不进入碳化硅晶体。主要堆积在晶粒的界面上和气孔中。
由此可见碳化硅的化学成分也需要大家关注,尤其是在做高科技研究方面,碳化硅的一些指标含量需要到得到的化验才能保证生产、实验的进行。
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