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实验室气体管道安装-珂锐弘扬流体控制系统

询盘留言 |投诉|申领|删除 产品编号:573571021                    更新时间:2024-01-01
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高纯气体管路的设计要点:

1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,实验室气体管道安装,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。

3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,实验室气体管道安装哪家好,分析高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,实验室气体管道安装价格,一般在设备前设置末端纯化装置,实验室气体管道安装生产商,或末端气体过滤器。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?

1、用固体CaCl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;

2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%(体积)以下;

3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;

4、JMT型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有良好的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。

管道系统的布置方式

各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道,干管是指从总管分送到各单元的管道,支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道,各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。

管道系统设计的考虑因素

科学合理的管道系统设计,可以较低的成本实现不错的功能与效果。通常考虑一下因素。

1.管道系统的布置方式

合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置,将楼层高降到底线,尽量减少输送和排放管道的交叉次数,降低建筑投资成本。

2.管道系统的维护问题

必须预留维修的空间,方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。

3.管道系统未来的改变

必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加,适应未来发展的需要。

4.管道系统的效率

尽量使各种管线短捷、经济合理,提升效率,降低运行费用与管道系统的投资费用。

5.建筑的形象设计

管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量,可采用实验室模块分散式管井,也可采用集中式大型竖井,必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要,曹勇美观的管道系统。

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