PDMS是制作微流控芯片的主要材料,纯硅模具,PDMS芯片制作的主要方式为模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具,以采用机械加工方式制备的亚克力和金属模具,在制备大深宽比流道具有很大的优势,强度较硅模具和SU8模具强,可多次反复重新使用,同时具有较高性jia比gao。
亚克力模具以制备PDMS芯片的简易性和经济性而著称,通过数控精雕机可高度jing确地制备,其表面具有一定疏水性,有助于PDMS材料的轻松脱模,适用于制备流道宽度大于0.1毫米以上、误差控制在±20微米左右的微通道结构,是一种在精度要求适中的应用中具备成本效益和gao效制备的理想选择。
纯硅模具的价格因规格、质量要求等因素而异,一般来说,中等质量的纯硅模具价格在150-400元之间。具体报价还需结合实际需求和厂家进行详细咨询。
负性SU-8光刻胶旋涂
为了创建稍后将成为模具的光刻胶层,我们使用匀胶机进行旋涂,旋转速度、加速度和 SU-8 光刻胶粘度将决定 SU-8 光刻胶层的厚度。
要成功执行此步骤,必须采取一些预防措施:确保您的旋涂机完全平整。将晶圆尽可能居中放置在旋涂机卡盘上,以获得ziui佳的涂层分布。出于与晶片相同的原因,将您的光刻胶尽可能地居中。分两步涂覆 SU-8 光刻胶,一个在 10 到 30 秒内以低速和低加速度将光刻胶涂抹在基板上,然后在 30 到 60 秒内以高速和加速第二步以控制层厚度。使用微量移液器分配光刻胶以控制使用的 SU-8 光刻胶数量。
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