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平面电机x-y步进工作台的维护与保养平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台, 动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,通辽测试治具,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等,用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽。
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从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台经济手动型根据客户需求定制chuck尺寸:4'*4' 6'*6' 8'*8' 12'*12' (可选)X-Y移动行程:4'*4' 6'*6' 8'*8' 12'*12'(可选)chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)
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