广州潽拓光电科技有限公司——维修安捷伦分子泵Turbo-V 2300
安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS,悬浮转子,能够有限改善震动。AFS提供了超高精度,确保了轴承对准。同时径向静止设计,极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS,TV304FS,TV551,维修安捷伦分子泵Turbo-V 2300,TV701,TV1001,TV2300,TV3KG等不同抽速大小的分子泵,以满足客户不同的应用需求。
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安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度好的干泵
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安捷伦真空:分子泵使用中的注意事项:
分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
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安捷伦提供TPS Mini紧凑型、TPS Flexy自由组合式、TPS Compact便携式、TPS Bench台式、TPS Mobile可移动式5种分子泵机组,形式多样,可根据客户应用和需求进行选择。前级泵分油式和干式两类,前级油封旋片泵的抽速范围从1.8-20.5m3/h,前级干泵提供的抽速范围从0.6-30m3/h,极大的满足了不同客户的应用需求。配置的FRG700全量程主动式真空计为皮拉尼和冷阴极组合式真空计,测量范围从大气至5*10-9mabr,满足了一测量真空的应用需求,简单方便。多功能,快速变化的样品架,可以测量固体、薄 膜、粉末以及液体样品。
安捷伦扩散泵特点用冷却水少,对冷却水温度要求不高与普通的扩散泵相比,同样规格的泵,安捷伦扩散泵仅需要50%甚至更低的冷却水流量。而且,安捷伦扩散泵对冷却水的温度要求不高,只要保证排放温度不高于54度即可,当水压较低排水温度高于54度时,还可以采用将冷却水管并联的方式扩展使用区间。
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振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度,以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
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分子泵控制器 “3D” 控制软件
早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到优性能的曲面上(3D),达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。
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