具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封,且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。而随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高,非人士不能也。除了在生产领域,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间
洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合国家有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。布置工艺的流程尽可能短,减少交叉往复,、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,每间用室相互,净化工程的面积应在保证基本要求前提下,无菌车间净化工程,与生产规模相适应。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。
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