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广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),爱德华磁悬浮涡轮泵价格,可在洁净室内实现低噪声。
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广州潽拓维修分子泵,Edwards EPX TWIN 180L爱德华半导体真空干泵维修
技术参数:
品牌:Edwards 型号:EPX TWIN 180L
入口法兰:ISO63 出口法兰:NW25
水接头:3/8 in快速 电源供给:200/208V,50/60Hz 三相
电机额度功率:3.0kw 重量:55kg
应用:
EPX系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX'L'系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用
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Edwards Diffstak 160/700P 小型油蒸汽扩散泵 Diffstak 160/700P
概述:
紧凑型水冷却Diffstak泵配有集成的冷却挡板,回流超低,漏气更少,并且安装所需的橡胶密封件也大大减少,同时还能提供**清洁的泵送系统。
多年依赖,通过数千个泵的安装,Edwards Diffstak 160(ISO 160进气口)设计已得到认可。
这种泵是无阀泵,具有铜制压缩垫片法兰。
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