如何通过质量流量控制器判断没有气体通过?
质量流量控制器(MFC)是用来控制气体流量的,质量流量计(MFM)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用MFM。 当然MFC还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为MFC设定一个大流量,MFC会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小MFC就不能测出来了,因为MFC压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的MFM。
气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,质量流量控制器,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内,质量流量控制器价格, 而且压差要相持续稳定。
通讯方式的热式气体质量流量控制器
在直径较细的感应管中放置两对加热器,质量流量控制器多少钱,并将其控制在同一温度。当流体流动时,气体将上游的部分热量带给下游,而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时,质量流量控制器报价,利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理,来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
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