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气体激光(Gaseous laser),以气体为自动介质的激光中,包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。

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