真空腔体制造技术
提供设备腔的定制服务,腔体的外形和开口可以根据用户要求进行设计。
表面分析腔有通用腔体,用户也可以在通用腔体的基础上进行自定义设计。
手套箱和焊接箱于熔炼或焊接钛、锌等对易在大气中氧化的材料。
真空密封颈是基板和钟形罩之间的过渡组件,它可以提供额外的高度和更多的自由端口。
装载锁定室是建在主腔体上的小腔体,可在不破坏主腔体真空度的条件下,将样本、晶片或其他组件从外部大气环境移动到内部高真空环境中。
表面分析腔有通用腔体,用户也可以在通用腔体的基础上进行自定义设计。
真空腔体可以按照真空度进行分类,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),中真空度(< 1, >10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的高压力 (> 760 torr)。真空腔的宽度和外径等常规尺寸是非常重要的参数。标准钟形罩或柱形腔体的可选直径是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。
真空腔体或者真空组件的可选项包括法兰、装配形式、表面抛光或电抛光、开口或传导口,不锈钢真空腔体加工品牌,加热器和冷却方式等。
Ferrotec在真空中制造中的解决方案
使用磁流体密封件作为在旋转过程中真空解决方案。磁流体密封件可以隔绝大气和污染物。
制备的石英用来制造视口及配件等组件,石英在许多其他加工工艺中也有使用。
真空镀膜可选Ferrotec的PVD电子束蒸发系统。
如需了解更多真空环境下的制造信息,请参考真空工业界的资料。
复杂的真空腔体通常需要定制,即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计,不锈钢真空腔体加工哪家好,如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境,可用于焊接,或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。
影响真空绝缘水平的主要因素
空隙间隔
真空的击穿电压与空隙间隔有着比较清晰的关系。试验标明,当空隙间隔较小时,卧式真空腔体加工,击穿电压跟着空隙间隔的添加而线性添加,但跟着空隙间隔的进一步添加,击穿电压的添加减缓,即真空空隙发作击穿的电场强度跟着空隙间隔的添加而减小。当空隙到达一定的长度后,单靠添加空隙间隔进步耐压水平已经好不容易,这时选用多断口反而比单断口有利。
一般以为短空隙下的穿主要是场致发射引起的,而长空隙下的的穿则主要是微粒效应所致。
真空泵
核聚变装置的10-4Pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得超高真空的泵实现。根据不同功能特点,有3类低温泵安装在ITER装置上。Cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界氦气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足ITER装置的环境条件,真空腔体加工,包括Edwards和Pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使Edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛,磁场容限增强型nEXT400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构,导热基板的空气冷却结构,超高真空陶瓷引电和金属密封装置,以及耐辐射密封元件优化等多项新技术,实现了160mT磁场条件下可靠运行。
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