真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。为了使用方便和真空工艺过程的需要,将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。
有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,双级真空泵,对小真空泵可采用真空胶管连接,结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。
真空度低,这不仅是因为受到结构上的限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。
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