光刻靶的制造需要高精度的机械加工技术。在制造过程中,通过准确的数控机床和良好的加工技术,可以确保光刻靶的各个部件尺寸准确、形状规整。这种高精度加工不仅保证了光刻靶的结构稳定性,还有助于提高其在工作中的定位精度和重复性。其次,光刻靶的制造还需要进行严格的表面处理。通过抛光、研磨等工艺,光刻掩膜定做,可以去除表面缺陷和杂质,提高表面的光洁度和平整度。这种表面处理不仅有助于减少光刻过程中的误差,还可以提高光刻靶的耐磨性和耐腐蚀性,从而延长其使用寿命。
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