电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中,派瑞林,直接利用电子束加热,显示屏派瑞林,使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点,特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
优点:
1、电子束轰击热源的束流密度高,能获得远比电阻加热源更大的能量密度。
2、由于被蒸发材料是置于水冷坩锅内,因而可避免容器材料的蒸发,以及容器材料与蒸镀材料之间的反应,这对提高镀膜的纯度极为重要。
3、热量可直接加到蒸镀材料的表面,因而热效率较高热传导和热辐射的损失少。
对于已清洗过、不能存放于大气环境的洁净表面,应采用密封容器或保洁箱储存,减少尘垢。在新氧化铝容器中储存玻璃底板,可以将对烃类蒸汽的吸附降到Z低。这样的容器更倾向于吸附烃类。对于高不稳定性、对水汽敏感的真空镀膜加工,一般应储存在真空干燥箱中。
薄膜和基体选材广泛,薄膜厚度可进行控制,以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。在真空条件下制备薄膜,环境清洁,薄膜不易受到污染,因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,手机派瑞林,利用物理或化学方法,橡胶派瑞林,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
采用PVD真空镀膜处理,清除镀膜室内的尘埃,设置洁净度高的工作间,保持室内高度清洁,是镀膜工艺对环境的基本要求。在空气湿度大的地方,除镀前要对基片、真空室各部件仔细清洗外,还要进行烘烤除气。为了防止油进入真空室,应注意油扩散泵返油,对高热能的扩散泵必须采取挡油措施。
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