氦质谱检漏仪的基本原理与结构
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,电子器件氦检漏仪器公司,质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
真空箱氦检漏及回收系统在汽车空调的应用二
汽车空调两器检测要求
1.1 空调两器实际工况
1.空调两器工作介质:氟利昂或者碳氢化合物作为制冷剂工作于汽车空调内部,目前比较流行使用R134a作为汽车空调的制冷剂。
2.压力范围:不同规格的空调两器工作范围在2.0~3.5MPa之间,正常工作压力在0.8~2.0MPa之间。注:特殊情况除外。
3.气密性要求:对于两器产品,充注一定压力R134a制冷剂,泄露量小于2克/年。
4. 耐压要求:对产品加压到实验压力,保压一段时间,降到常压,经检查无泄漏和异常变形。
1.2 空调两器氦检漏基本要求
1.耐压测试要求:一般两器在执行氦检漏之前会充注一定压力(一般不超过3.5MPa)的高纯氮气或者干燥的压缩空气,对工件作耐压测试,如果不出现明显变形及大漏,再执行氦检测工艺。
2.氦检测精度要求:由于不同生产企业对产品的检测要求不尽相同,但一般都会遵循行业标准,或比行业标准要求稍高。通常“两器”检测标准不会超过1克/年。
3.检测节拍要求:据调查一般的两器生产厂家年产量都会在十万只以上,电子器件氦检漏仪器价格,要实现所有产品全部使用氦检测,就要求氦检测节拍越快越好。中科科美生产的氦检系统,电子器件氦检漏仪器,针对冷凝器检漏节拍在40秒/件,针对蒸发器检漏可达20秒每件;
4.氦气回收要求:氦检漏系统使用氦气作为示踪气体,由于氦气比较贵重,如果直接排放,必然导致检测成本的大幅增加。因此,一般厂家都会要求氦气可回收,即循环利用。氦检系统,氦气回收率可达95%以上。
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检漏设备在检测时需要留意的事项
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