小流量气体净化系统
高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气,应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气,也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体,更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂,电化学抛光316L不锈钢管件,出气口配置微米过滤器,其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界水平。
气体配比仪采用质量流量计,电化学抛光316L不锈钢管件,双卡套或者VCR气体接头。
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高纯供气系统
保证气体纯度。通过大型的储罐( 液压) 和输送管道将载气输送给仪器,在储罐出口安装有单向阀,可避免更换储罐时空气或水分混入,另外,还可在高压段之后安装有泄压开关球阀,将多余的空气或水分排放,从而保证气体的纯度。
安全性提高。一般瓶装气体的充气压力大于或等于 14MPa/cm2,集中供气可根据需要降低系统压力,而且远离实验区域,提高了使用的安全性。另外,集中供气可将空气压缩机安放在供气室内,减少压缩机产生电火花带来的安全隐患,并可避免噪音对实验室的干扰。
高纯供气系统
1、高压波纹软管 :外表不锈钢金属网内衬PTFE材质,长度1米以上,通径大于6MM。一端符合标准钢瓶的连接型号,高纯供气生产厂家,另一端连接自动切换系统。承受大于3000PSI。其特性为:洁净光亮、柔软、防腐。
2、低压报警器 :低压报警器多触点可模拟数据输出型,报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。
3、减压阀 :316L不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar,出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar,出气压力0-6bar。进出口接口1/4” FNPT螺纹,压力表接口1/4” MNPT螺纹。
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