具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。 净化工程所特别设计的房间简称为:洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等,百级无尘车间多少钱一平米,主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等,施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识,否则,施工质量很难得到保障。
净化工程所特别设计的房间简称为:洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等,主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。净化工程的关键是设计,工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工,还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。对装饰材料应严格按国家有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室和空调送回风管道应在安装过滤器前达到清洁要求,净化空调系统必须连续空吹12小时以上,空吹后再对送回风管和空调机组内部进行清扫和擦洗干净。
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