光刻靶的制造材料需要具有良好的机械性能。这意味着材料需要具有较高的强度、硬度和韧性,苏州陶瓷光刻靶,以承受光刻过程中的各种应力和冲击。高质量的金属材料,如不锈钢、铝合金等,通常具有这些性能,因此常被用于光刻靶的制造。其次,光刻靶的制造材料还需要具有良好的化学稳定性。在光刻过程中,光刻靶可能会接触到各种化学试剂和气体,因此需要具有优异的耐腐蚀性和防氧化性。一些特殊的合金和复合材料,如陶瓷、石英等,因其优异的化学稳定性而被广泛应用于光刻靶的制造中。
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