真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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如何正确使用氦气检漏设备?
为了正确使用氦气检漏设备,在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空,试件中的空气将被挤压到几何空间的末端,氦气检漏设备中的气体不能进入该部分,因此潜在的检漏孔将仅释放空气,检漏设备不能检测到这些检漏孔。氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中,这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满,从而大大影响检漏结果。
氢气检漏设备
无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用,这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比,使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉,很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相当于0.1g/y,其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20,同时氦气检漏法要增加一些辅助设备,如氦气回收系统等。
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