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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON
INFICON皮拉尼复合真空计
产品型号:BPG400
I
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
一般真空测量和控制,从低至超高真空范围
优点
极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)
很好的重复性,压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
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广州潽拓光电——TV301分子泵
特点:
功耗更低、性能更加
通过减少发热而节能,并提高可靠性
可拆卸的前级连接器
可连接各种前级泵
冷却方式灵活(风冷或水冷)
为风冷而优化的冷却翘片
通过降低工作温度进一步提高可靠性
泵具有优化的几何尺寸
功率要求低,前级耐压高及可承高气载
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广州潽拓光电——Bayard-Alpert/Pirani技术
IONIVAC型复合真空机ITR 90
-量程覆盖12个数量级:
-ITR 90真空计复合运用热传导和电离技术
-连续测量范围达 10E-10到 1000mbar
-系统带有显示器可单独使用
-RS-232 C接口
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