半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
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1、与混合组成潘宁气体,充填在荧光灯中,可降低灯的启动电压;
2、充于冷阴极放电管中,可获得橙红色的发光,用作指示灯;
3、在微波激发下,发射单色的真空紫外谱线(74.4nm和73.6nm)
氙:
1、充入HID氙灯中,在启动后立即获得全部光输出的80%,放电时发射白光,色温5500K;
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯;
3、在微波激发下,甲烷,发射单色的真空此外谱线(14.7nm)
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1、与混合,充填在荧光灯中,可提高光效,但启动困难;
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯;
3、85同位素气体可填充入金属卤化物灯,甲烷批发,帮助启动;
4、在微波激发下,甲烷厂家,发射单色的真空紫外谱线(123.6nm和116.5nm)
氙气厂家 高纯氙气 采用空气分离设备变压吸附制氮,以的碳分子筛(CMS)为吸附剂,采用常温下变压吸附原理(PSA)分离空气制取高纯度的氮气。
氧、氮两种气体在分子筛表面上的扩散速率不同,直径较小的气体分子(O2)扩散速率较快,较多的进入碳分子筛微孔,直径较大的分子N2扩散速率较慢,进入碳分子筛微孔较少。利用碳分子筛对氮和氧的这种选择吸附性差异,当压缩空气通过碳分子筛吸附塔时,氧在吸附相富集,高纯甲烷,氮在气体相富集,可使氧氮分离,在PSA条件下连续制取氮气。
制氮机是以空气为原料,以碳分子筛为吸附剂,运用变压吸附原理,使充满微孔的碳分子筛对气体分子有选择性的吸附来获得纯度为98~99.99%的氮气。
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