净化方案一:组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口:这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二:水冷柜机+增压风柜+高效送风口:与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
洁净房装修:天花板:洁净区及生产区域用双层保温(PU)彩钢板,无尘明亮,色灰白,厚50mm。符合电子厂房洁净防静电要求。间隔:洁净区及生?区用双面彩钢保温(PU)板围护及间隔。洁净车间内间隔与地面及无花交角做圆弧及阴角接口,防积尘及易於卫生清洁。密闭门:单扇门:900*2000,上做玻璃观察窗(同间隔墙平窗尺寸),装通道锁,门及门框采用不湫钢制作。地面:防静电规范 A.洁净区水泥地面经处理后做3mm防静电环氧地坪。符合欧洲EN548标准和要求。防火性能符合:DIN4102-1,B1级:抗燃烧性符合ISO06923:难燃:抗静电性<+/-100V 抗化学性能符合EM423:耐稀酸、油脂、及乙醇、石渍溶剂等。具有不吸尘、不吸灰的特性。柱子:洁净区柱子用彩钢板全包边,并作回风技术夹层。风淋室:按规范要求,洁净房的风淋室设计双人,2个:
集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关,洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节,黄光净化车间方案,属于生产辅助性工程,直接和投资相关,不受限于技术瓶颈,即使我国在制造工艺上尚存在差距,但是洁净室工程行业不受影响,获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。
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