气体质量流量控制器使用注意?
1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下,也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时,应在定货时声明,使用特殊腐蚀性气体,电子流量控制器厂家,所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平,但对位置并不特别敏感,电子流量控制器,可以任意位置安装,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀,电子流量控制器价格, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体,通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀,以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时,可以通过附录的转换系数进行换算。
选择气体质量流量控制器和订货时应当注意什么?
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。质量流量控制器(MFC)除耐压之外,电子流量控制器公司,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。
除了气体种类,流量范围外准确度和接头形式也很重要,常见的接头形式有卡套接头和VCR接头,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。
什么是气体质量流量控制器?
气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。
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