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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司

内漏和外漏怎样查?

内漏多发生在有水冷套的设备上,查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象;机械泵的抽速明显偏低,真空计示值低,机械泵油很快乳化,真空室内的铁基零部件明显锈蚀,具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉,2X一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0Pa,150罗茨泵的作用显现不出来,没发现有外漏,却具备了机械泵油很快乳化,真空室内铁基件明显锈蚀的条件,解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净,再通冷却水,看有无湿润点,湿润处就是漏点。

动态泄漏

真空系统中有运动传递的地方会采用动密封,这些动密封结构,很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏;比如采用橡胶轴封做动密封(阀杆与阀体之间)的阀门,就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高,不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态,这种动态泄漏很难被发现。

对于非常关键的工艺,选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率;如果选用的还是轴封做密封的阀门,天津真空腔体加工品牌,在检漏时

检测漏率问题

用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏;外漏比较好检测,内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法,利用气流能使火焰偏离的原理,铝材真空腔体加工品牌,先抽上真空,非标真空腔体加工品牌,用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻,超高真空腔体加工品牌,会发现火苗向漏点偏移,则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏,现在已经生产ZHC.1型仪表。该检漏仪表用ZJ.2电离规管,规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话,可以检测到l0P的漏率。

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