洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室:将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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山东净化工程中空气过滤器的布置和安装应符合以下要求:油浸过滤器不得用于初始效率空气过滤器;中等效率空气体过滤器应居中布置在净化空气体调节系统的正压部分。山东净化工程中净化空气体调节系统结束时,应安装高效空气体过滤器或亚高效空气体过滤器。高效空气体过滤器的安装方法应简单可靠,检漏和更换应适当。应根据额定风量选择中等、亚高、空气过滤器。具有相似阻力和效率的高效空气过滤器应设置在同一净化车间。
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