气体质量流量控制器的密封材料如何选择?
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意,数字质量控制器多少钱, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,数字质量控制器哪家好, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。
气体质量流量控制器流速和流量之间的关系
流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种:
体积流量的公式为Q=VS,Q代表气体的体积流量(m/s),V代表气体的平均流速(m/s),S代表气路管道的横截面积(㎡)。
质量流量则是M=ρQ=ρVS,M代表气体的质量流量(kg/s),数字质量控制器,ρ代表气体的密度(kg/m),Q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM,G代表气体的重量流量(kgf/s),γ代表气体的介质重度(N/㎡),M代表气体的质量流量(kg/s)。
气体质量流量控制器特点
利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD,一只用来做热源,一只用来测量流体温度,当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,数字质量控制器价格,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术,能实现微小流量测量和控制,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氮气等气体的检测和控制
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