真空泵泵的传动方式
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,干式真空泵公司,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的缺点是:a.主动轴上有三个轴承,增加了泵的加工和装配难度,齿轮的拆装及调整也不便;b.整体结构不匀称,泵的偏向电动机和齿轮箱一侧。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵轴承位修复的操作方法
随着水环式真空泵被广泛的应用于各个领域,由于它的使用特性优势得到了大家的认可,为了更好的应用,下面咱们一起了解下关于水环式真空泵轴承位修复的操作方法有哪些吧。
水环式真空泵在使用时,进行检查,干式真空泵报价,任何故障都会影响设备的正常使用,轴承是整个设备的重要组成部分,干式真空泵生产厂家,轴承位置修复决定了设备未来的使用。根据水环真空泵轴承位置不磨损的标准尺寸,制作修复装置,用除油,然后用抛光机表面粗糙,按比例调和材料,直至无色差,涂抹索雷碳纳米聚合物材料。安装工装,恢复水环真空泵轴承尺寸,加热固化1-2小时,确保材料完全固化,干式真空泵,检查修复面,用千分尺测量修复后的轴承尺寸,去除修复工装挤出的多余材料,然后热装新轴承。只有合理修复轴承位置,才能有利于设备的正常使用,可以有效提高设备的使用效率。
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