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广州潽拓光电科技有限公司
主营：分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板，玻璃镀膜，科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，Shimadzu等分子泵，真空泵，真空计维修保养/销售等业务。
广州潽拓——维修PFEIFFER DUO 3
双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理
旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地
安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口
(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。
工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶
片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入
室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力
而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行
润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。
旋片式真空泵的工作原理
在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，
在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始
冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无
气镇操作所达到的压力。
工作液、油
泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动
部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工
作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。
多级泵
旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。
此外，普发进口分子泵TMH261-130，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。
真空安全阀
根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意
外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液
上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它
稍作延迟就打开。
潽拓——普发进口分子泵TMH261-130}，分子泵
广州潽拓光电——维修Pfeiffer普发DCU110分子泵直流显示电源
广州潽拓光电——出售pfeiffer DCU110普发Hipace系列分子泵驱动电源
pfeiffer DCU110普发Hipace系列分子泵驱动电源，DCU110德国普发分子泵电源输入电压100-240V，功率125VA，输出电压24VDC，电流4.6A
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广州潽拓——普发PFEIFFER 涡轮分子泵
PFEIFFER HiPace 2300UC普发涡轮分子泵进气法兰口DN250 ISO-K/DN250 ISO-F/DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1450 L/s -1900 L/s
潽拓光电——德国PFEIFFER分子泵保养，普发HiPace 2300U保养图如下
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第6年
