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- 包装说明 : 不限
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技术参数:自动进样器:样品瓶容量:可达768瓶,另加10个2ml瓶,另加10个2ml瓶进橛量:0.1-100ul(标准)高达1500ul的多次吸液功能所有自动进样器的度:一般<0.5(5-100ul进样量)恒温自动进样器:温度控制范围:从4℃-40℃可设定1℃Agilent 1200系列柱温箱温度设定范围:室温下10℃至80℃温度稳定性:±0.15℃柱容量:30cm三根柱Agilent 1200系列可变波长检测器短期噪声:±0.75×10-5,254nm波长范围:190-600nm
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与其他外延方法相比;它具有如下的优点:1)生长设备比较简单,;2)有较高的生长速率;3)掺杂剂选择范围广;4)晶体完整性好,外延层位错密度较衬底低;5)晶体纯度高,二手1260液相设备好不好,生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物,操作安全、简便等。LPE的不足在于,台州二手1260液相设备,当外延层与衬底晶格常数差大于1%时,二手1260液相设备怎么用,不能进行很好的生长。其次,由于分凝系数的不同,除生长很薄的外延层外,在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。
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LPE的硅外延层,以其良好的电学、光学及其生长特性,二手1260液相设备价格,而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前,取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1] .场控制器件:CVD在硅器件的埋结制造中,因自掺杂而出现埋层尺寸增加,密排栅极叉指制造也受到严重影响,而LPE因其可以消除自掺杂,而在这方面得到应用,尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造,其优点更为明显 [1] .
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