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设置为1mT,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mT。当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,ULVAC爱发科分子泵故障处理,当磁场强度为7mT时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。
另外,使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mT时,低大约40度)。2020年12月10日,真空推出全新350和450涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
350和450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了很佳的可靠性。创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点:对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向,该系列泵具有的和灵活性。
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为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院()设计并执行了下面的测试:测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。
使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的PT100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mT,东沙群岛ULVAC爱发科分子泵,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mT。
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为7mT时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。
另外,ULVAC爱发科分子泵技术咨询,使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,ULVAC爱发科分子泵维修服务,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mT时,低大约40度)。
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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5~10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽,如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏,这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致,重量小;
2.表面光滑容易清洁;
3.运行异常安静且振动低;
4.根据客户需要,干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;
5.隔膜寿命长,高弹性的纤维增强型FKM隔膜(化学隔膜泵,耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜);
6.内部气路连接件漏率低,长久运行依然能保持优异的真空性能。
螺杆泵作为前级泵的优势
1.100%无油;
2.无易损件;
3.无磨损;
4.抽速大可达10 m3/h,极限真空低至0.005 mbar;
5.一键启动,长期7×24 h稳定运行,维护成本低,无烦恼。
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