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ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项:
*内置加热带可以帮助泵运行在较高温度(gao75摄氏度),从而避免沉积物的累积;
*加热带由控制器进行温度控制,ATHMT型分子泵已随泵携带冷却水阀
*分子泵转速的调节——待机转速
—ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在di待机转速与额定转速之间,这样可以根据客户的工艺情况(如运行在较gao压力下)使泵运行在zui优状态。
gao转速—34000 rpm(ATH 1300M/MT)
*磁悬浮分子泵的安装要求
---磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高,泵出现机械故障或者发生意外时,没有正确安装的泵完全可能由于动能传递到泵体而使得泵脱离设备从而造成事故
---当泵在运行过程中转子突然卡死时,转子的动能将被传递到泵体和设备上
---通过模拟分子泵损坏时的坏状况(转子在全速时碎成两半)
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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修
概要:
涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵,通常和辅助泵配套使用。
主要用途:半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。
标准规格如下:
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广州潽拓光电科技——LEYBOLD真空泵SV300
特点及用途:
-从***气压导***压力之间皆可运转使用
-在低真空压下,仍可保持良好的抽气速度、
-低噪音、低震动
-内置出口滤芯,可到99.9%的油气过滤效果
-空气冷却,经济方便(也可选择水冷冷却)
-进气口配置有止回阀,避免泵浦停止时,真空油会逆流
莱宝的sogevac系列单级油封旋片泵的主要技术参数为:
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