广州潽拓光电科技有限公司——Agilent真空泵
安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS,悬浮转子,能够有限改善震动。AFS提供了超高精度,确保了轴承对准。同时径向静止设计,极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS,TV304FS,TV551,TV701,TV1001,Agilent真空泵哪里维修,TV2300,TV3KG等不同抽速大小的分子泵,以满足客户不同的应用需求。
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安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度好的干泵
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分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,中山Agilent真空泵,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
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油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,Agilent真空泵检修,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
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近日,安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305,它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,同时,还拥有诸多全新的特点,此外,TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的一款真空产品。
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安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑,可以任意角度安装,而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动;对于一个紧凑便携的系统而言,这些特点至关重要。
安捷伦扩散泵特点一抽气快(压力降的快)与扩散泵相比,Agilent真空泵维修,前级泵(如罗茨泵)的抽速一般都会比较小,而且,在接近可以开启扩散泵的压力时其抽速又会很明显的下降,所以这个压力段是好多真空设备真空泵抽速的瓶颈。安捷伦扩散泵的喷塔设计使其可以开始抽气的压力和到达满抽速的压力都比较高,这样,在前级泵抽速开始下降的阶段就可以更早的以更大的抽速介入,使真空设备的压力可以很多的下降。
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