氦气
氦气穿透能力强,且易,对漏点有很好的检出能力,可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部,氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞,灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法:首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中,并加压,环保柜氦测漏系统,让氦气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气;接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
氢气检漏设备
(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与氦检相同水平。(2)示踪气体充注控制器:对于批量生产的用户,好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作,可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156),无毒性和腐蚀性,也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素,有着很多的优点。
真空设备检漏
一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的,也是没有必要的,所以就要根据真空系统实际应用的具体条件,对漏率指标提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足够小,使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强,这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量,称da允许漏率,简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标,也是检漏的依据。
如果已知允许的总气载,而没有具体指明究竟有多大,那么,在设计合理的前提下。da允许漏率Q漏=0.1Q总,不同真空系统所允许的总漏率也不同。
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