SU8模具加工平台旨在为SU8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案,该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机,体积小巧,采用LED光源,江苏SU8光刻机,曝光分辨率可达2um,SU8光刻机哪家好,曝光均匀性大于90%,可实现微纳结构的精细制备;匀胶机,转速稳定性为±0.5%,转速达10000转,可确保光刻胶均匀涂敷,提高一致性;热板,温度稳定性±1%,可为SU8模具提供充分的烘烤,从而提升SU8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台,设备体积庞大,环境要求严苛,SU8模具加工平台适应性强,SU8光刻机设计,光刻机占地面积小,普通实验室也可轻松部署。SU8模具加工平台,有利于客户快速实现芯片制备,为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。
2、平台组成2.1 电子秤
量程:0.01~1000g精度0.01g方形托盘大小:16x18cm2.2 脱泡器
材质:PC材料隔板直径:230mmyouzhi硅胶O型密封圈可维持高真空
2.3 PDMS浇筑器
材质:铝合金真空吸附硅片规格:适合4寸及4寸以下SU8模具或纯硅模具浇筑
2.4 烘箱
温度范围:10℃~300℃温度分辨率:0.1℃温度波动:±0.2℃内胆材料:不锈钢内部尺寸:35x35x35cm(长x深x高)外部尺寸:46x56x64cm(长x深x高)电源:220V功率:0.8KW2.5 PDMS芯片打孔器介绍PDMS芯片打孔器,借鉴了台钻的机械原理,并对he心结构进行了优化,使得该打孔设备在操作过程中表现更为稳定。它适用于制备各种软质微流控芯片(如PDMS芯片、硅胶芯片等)的进样孔。可通过限位螺栓调整所需孔深度(范围为0-20.0毫米),可更换不同内径针管(范围直径0.41-9.0毫米)控制进样孔尺寸。
匀胶机
调速范围和时间:
I档:50~10000转/分,时间0~999s
II档:50~10000转/分,时间0~999s
适用:直径5~100mm硅片及其他材料匀胶
转速稳定性:±1%
胶的均匀性:±2%
电极功率:40W,单相110~240V
真空泵抽气速率:>60L/min
热板
温度:0~300℃
温度稳定性:±1℃
功率:850W
台面大小:200x200mm
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