曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。
4、启动曝光:确认参数设定无误后,点击启动按钮,设备将开始进行曝光。
5、监控曝光过程:在曝光过程中,您可以通过设备界面监控曝光进度,确保一切顺利进行。
6、曝光完成:曝光结束后,设备会发出提示,桌面光刻机性能,取出硅片和光刻板。
顶旭桌面微型光刻机,专为微米级图案制作而设计,桌面光刻机哪家好,旨在保障卓yue的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源,结合双非球面石英透镜,可生成半角<2°的平行光,相较传统接触式曝光机,其极zhi紧凑的体积将移形换影置于桌面之上,为操作提供了便利与精zhun。
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,桌面光刻机企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案
技术参数
曝光光源:紫外LED光源波长:365nm;
曝光面积:4英寸、6英寸可选;
曝光方式:单面接触式定时曝光;
曝光分辨率:2um;
曝光强度:20~200mW/cm2可调;
曝光不均匀性:≤5%;
光源平行性:≤2°;
光源寿命:≥20000h;
电源输入:AC220V±10V,50HZ
功率:250W
重量:25kg
外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)
工作环境:温度0℃-40 ℃,桌面光刻机,相对湿度<80 %
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累,持续将专ye知识与创新思维相结合,为客户提供高pin质的解决方案。
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