气体质量流量控制器的零点漂移?
微小的零点漂移是不会影响传感器的测量精度和数值的,但是如果是零点漂移较大或用户在使用时,对零点漂移的数值有疑问,那么这时候如何解决漂移显得非常重要。 热式气体质量流量控制器和流量计会有零点漂移情况,零点漂移也就是管道中已经没有介质流动但质量流量计仍显示流量值。如果是零点出现大幅漂移,而且每次漂移差别很大,就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留,宁夏空气质量流量计,需要打开各种阀门,全部排空气体管路,防止设备或管路憋压。
一般造成质量流量计零点漂移的因素有许多,解决质量流量计零漂问题,空气质量流量计多少钱,首先要定期进行零点检查和调整,二是需要和工艺配合来解决。一般情况下,管道压力变化造成介质微量流动也会导致质量流量控制器/质量流量计的零点漂移,出现这种漂移时,要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀(流量控制器不能当做截止阀来使用),使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口,消除管道内的压力和气流,从而达到消除零点漂移。
气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,空气质量流量计报价,即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。
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