充入气:在高真空的条件下充入适量的气。
施加电压:在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁)之间施加几百K直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电。
电子碰撞与电离:电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与原子发生碰撞,使气发生电离(在高压作用下Ar原子电离成为Ar+离子和电子)。
离子轰击靶材:入射离子(Ar+)在电场的作用下轰击靶材,使得靶材表面的中性原子或分子获得足够动能脱离靶材表面,沉积在基片表面形成薄膜。
二次电子运动:产生的二次电子会受到电场和磁场作用,LH300派瑞林镀膜设备,产生E×B漂移,新北派瑞林镀膜设备,其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场,则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动,它们的运动路径不仅很长,而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内,并且在该区域中电离出大量的Ar+来轰击靶材。
如果湿度超过60%,则需要采取降湿措施。这包括使用除湿机、增加通风换气量、使用吸湿材料(如硅胶)等方法来降低室内湿度。避免频繁的温度和湿度波动对镀膜过程产生不利影响。可以通过安装温度和湿度控制系统来自动调节室内环境,确保其在理想范围内保持稳定。
在镀膜过程中,注意防止灰尘和杂质的进入。保持操作环境的整洁,使用空气过滤器和干燥的环境来减少污染物的影响。
定期对镀膜设备进行维护和清洁,确保其处于良好的工作状态。
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