磁场产生:在磁控溅射镀膜设备中,存在一个由电源产生的磁场。这个磁场用于控制电子的运动轨迹。
电子运动:在磁场的作用下,UH850派瑞林镀膜设备,电子围绕靶材表面运动,并且在运动过程中会与靶材表面的原子发生碰撞。这种碰撞使得靶材表面的原子被激发并从表面飞出。
E×B漂移:在电场和磁场的共同作用下,产生的二次电子会产生E(电场)×B(磁场)所指的方向漂移,UH850派瑞林镀膜设备销售,简称E×B漂移。其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场,则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动。
镀膜设备可以根据不同的镀膜技术和应用需求进行分类。常见的镀膜设备包括:
蒸发镀膜设备:利用电阻加热或其他热源将膜材加热至蒸发状态,使其在基材上形成薄膜。适用于多种材料的镀膜,如金属、合金、氧化物等。
溅射镀膜设备:通过高能粒子(如电子、离子等)轰击靶材,使靶材原子或分子逸出并沉积在基材上形成薄膜。溅射镀膜设备又可分为直流溅射、射频溅射、磁控溅射等类型。
离子镀膜设备:利用气体放电产生的离子轰击靶材,使靶材原子或分子逸出并沉积在基材上形成薄膜。离子镀膜设备具有镀膜速度快、膜层质量好等优点
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